オージェ電子分光装置
(AES : Auger Electron Spectrometer)

• 機器名
  

  　(1) 日本電子 JAMP-7800 （平成 5 年設置）
  　

• 用途
  

  　電子線により励起されたオージェ電子を利用して、材料表面の表面分析（数原子層）を行う。半導体材料、金属材料、潤滑油等の表面工学の研究に利用。

• 仕様
  

  　(1) 日本電子 JAMP-7800
  

  電子光学系
  最小ビーム径	:	8 nm 以下
  プローブ電流	:	10-11 〜 10-5 A
  加速電圧	:	0 〜 30 kV
  オージェ電子分光系
  アナライザ	:	同心半球型セレクター静電アナライザ
  エネルギー範囲	:	0 〜 3000 eV
  エネルギー分解能	:	0.05 〜 1 %

• 設置場所
  

  　1 階・精密実験室�T
  

• 留意事項
  

  　利用講習受講のこと。

JAMP-7800

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