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堀場製作所 GD-Profiler 2 (平成 29 年度設置)
グロー放電によって生成されたアルゴンプラズマ中のAr+イオンにより試料表面をスパッタリングして原子を弾き出し、原子をプラズマ状態に励起し、生じた発光を測定することによって試料の組成を分析する。極めて高速なスパッタリング(約10 nm/s)により、深さ方向元素分析を迅速に行う事が可能である。
ランプ型式 |
: |
マーカス型 |
試料印加方式 |
: | 13.56MHz高周波 |
高周波出力 |
: |
0~300W |
ガス圧力 |
: |
0~1000Pa(可変) |
アノード径 |
: |
標準4mm、オプション2mm |
1階 107室
学部4年次以上及び教職員で、取扱講習受講者